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介绍了经过改进的耦合波方法.该方法通过分析介质以及电磁波在光栅矢量方向上的连续性问题,在计算时采用校正傅里叶展开规则,使计算结果取得很好的收敛.在求解透射率与反射率时,通过引入广义反射系数阵和透射系数阵,避免了病态矩阵的产生,使得数值计算是稳定的,因此可以处理大槽深、多台阶的光栅问题.同其它方法相比,该方法计算速度大大加快.