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文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;当温度和测试气体的浓度一定时,该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性,只与检漏仪自身的参数有关。
氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究
【摘 要】
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文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所,
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2011年01期
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