【摘 要】
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研究了基于迈克尔逊干涉条纹对比法测量微位移的实验。用He—Ne激光器、反射镜和分束镜组成的干涉光路，其中一个反射镜固定在被测物体上，通过被测物体的移动带动反射镜移动使干
【机 构】
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河南科技大学物理与工程学院应用物理系
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研究了基于迈克尔逊干涉条纹对比法测量微位移的实验。用He—Ne激光器、反射镜和分束镜组成的干涉光路，其中一个反射镜固定在被测物体上，通过被测物体的移动带动反射镜移动使干涉光路发生变化，从而导致干涉条纹的改变。在形成干涉条纹的位置利用线阵CCD采集干涉条纹图像，用序列图像对比的方法对图像进行处理和计算，得出被测物体的微位移。实验表明利用序列图像对比的方法测量微位移，方法切实可行、测量准确度高、测量的精度能够达到微米量级。
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