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因电容检测场为电场,工作时的检测情况较为复杂且无法观察,为清楚了解单一平面电容传感器的工作情况,笔者建立了单一平面电容传感器的三维有限元分析,运用COMSOL软件对电容传感器的电容值进行了仿真计算,仿真研究结果为单一平面电容传感器的检测状况及结构设计提供了理论依据,对单一平面电容传感器的设计具有重要意义。