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研究了热子涂层的原材料粒度对热子绝缘层质量的影响,粒度过细或过粗,涂层附着不均匀,烧结后涂层表面开裂、起皮、粗糙、掉粉严重。采用粒度级配的配比方案制备了氧化铝涂层,电镜分析表明,涂层致密,质量得到明显改善;与原有工艺相比,氧化铝涂层抗压能力提高了1倍。
用于热阴极的热子绝缘层研究
【摘 要】
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研究了热子涂层的原材料粒度对热子绝缘层质量的影响,粒度过细或过粗,涂层附着不均匀,烧结后涂层表面开裂、起皮、粗糙、掉粉严重。采用粒度级配的配比方案制备了氧化铝涂层,
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2020年1期
【基金项目】
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总装预研基金项目(批准号31512010404-1),国家自然科学基金项目(批准号:61771454).
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