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期刊论文
溅射靶材综述
溅射靶材综述
来源 :上海钢研 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ee320
【摘 要】
:
本文主要对各领域的应用溅射靶材及其制备方法,并对薄膜镀膜方法和其应用领域作了介绍。
【作 者】
:
张青来
贺继弘
【机 构】
:
上海钢铁研究所
【出 处】
:
上海钢研
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
溅射
靶材
薄膜
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本文主要对各领域的应用溅射靶材及其制备方法,并对薄膜镀膜方法和其应用领域作了介绍。
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