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利用自主研发的圆柱谐振腔式MPCVD设备,在工作气压28kPa,微波功率5kW的条件下成功制备金刚石单晶,并采用光学显微镜、激光拉曼谱（Raman）技术对样品进行表征。结果表明,在高气压高功率条件下单晶的沉积速率高达26μm/h,且表面形貌平整。
高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶
【摘 要】
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利用自主研发的圆柱谐振腔式MPCVD设备,在工作气压28kPa,微波功率5kW的条件下成功制备金刚石单晶,并采用光学显微镜、激光拉曼谱（Raman）技术对样品进行表征。结果表明,在高气压
【机 构】
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常州大学材料科学与工程学院,常州宝颐金刚石科技有限公司
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2015年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金(51372044)
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