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对缝隙天线阵面的光刻技术进行了分析,对采用光刻技术方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和主要问题进行了论述.毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有面积大、缝隙多、精度高诸特点,能取得了实用价值.
研制毫米波缝隙天线阵面的技术
【摘 要】
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对缝隙天线阵面的光刻技术进行了分析,对采用光刻技术方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和主要问题进行了论述.毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有面积大、缝
【机 构】
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九江职业技术学院
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2005年9期
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