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基于改进的RLC互连树等效Elmore延时模型，建立了考虑电感效应和工艺波动影响的互连延时统计模型，并推导出计算互连延时均值与标准差的计算公式．计算结果表明，与目前广泛应用的MonteCarlo分析方法相比，采用新模型计算得到的RLC互连延时均值误差低于1．27％，标准差误差则低于5．23％，而且计算耗时仅为1000次以上MonteCarlo分析的0．01％．