【摘 要】
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受奥米亚棕蝇听觉系统特有结构的启发,提出一种能够测向的微机电（MEMS）矢量水听器设计思路,并进行了数值仿真研究。这种思路是利用MEMS表面牺牲层工艺设计一种微型差分电容检测
【机 构】
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中国科学院噪声与振动重点实验室,中国科学院大学
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受奥米亚棕蝇听觉系统特有结构的启发,提出一种能够测向的微机电（MEMS）矢量水听器设计思路,并进行了数值仿真研究。这种思路是利用MEMS表面牺牲层工艺设计一种微型差分电容检测水听器,可实现低频声源测向定位。利用COMSOL多物理场耦合仿真软件对水听器的模态和耦合放大效果进行了模拟仿真,结果显示在0°-180°范围,在谐振频率333Hz处,水听器差分电容敏感单元能够对声信号幅值差和相位差实现有效放大,显示出巨大的测向潜力。
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