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本文根据光学中的薄膜干涉和色品图上颜色的变化,从理论上给出膜厚控制的目视法.用玻璃基片镀MgF2单层膜时,目视紫蓝色刚一出现即关闭蒸发源,膜厚误差小于10nm.目视法控制膜厚度的关键是确定可以避开钼舟透射光的角度,以便准确观察基片反射光.
目视法控制薄膜厚度的探讨
【摘 要】
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本文根据光学中的薄膜干涉和色品图上颜色的变化,从理论上给出膜厚控制的目视法.用玻璃基片镀MgF2单层膜时,目视紫蓝色刚一出现即关闭蒸发源,膜厚误差小于10nm.目视法控制膜
【机 构】
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重庆教育学院计算机与现代教育技术系
【出 处】
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重庆教育学院学报
【发表日期】
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2001年3期
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