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研究了在Si（100）衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si[i00]和[110]晶向传播的速度一频率色散特性，给出了表面波色散特性的理论推导，得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.
表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性
【摘 要】
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研究了在Si（100）衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si[i00]和[110]晶向传播的速度一频率色散特性，给出了表面波色散特性的理论推导，得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年10期
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