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采用射频磁控反应溅射方法在SiO2衬底上制备了纳米ZnO镶嵌SiO2薄膜。在室温下利用吸收光谱和光致发光光谱研究了样品的光学性质。发现吸收光谱随纳米ZnO尺寸的减小发生了明显的蓝移，表明随着ZnO尺寸的减小，量子尺寸效应增强，导致带隙展宽，吸收峰蓝移。光致发光光谱在387和441nm附近出现了两个发光带，分析认为紫外发光来源于自由激子的辐射复合，而蓝色发光带来白于氧空位的电子到价带的跃迁，并用时间分辨光谱和发光衰减证实了上述观点。