重力场流分离微流道试制与非接触检测

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详细说明了重力场流分离微流道的制作工艺过程,给出了相关的工艺参数;应用激光CCD对所试制的重力场流分离微流道进行了非接触测量,对所测数据进行了数据处理,并做出了总结分析和讨论。
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