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管路系统
管路系统
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yyy_chj
【摘 要】
:
Poly-Flo单元式双重防泄漏管路系统采取挤压式设计,它由聚丙烯和高密度聚乙烯材料构成。预装配的专利O型密封圈使得整个系统可以用螺栓固定在原位。这种系统适用于半导体工厂
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
管路系统
高密度聚乙烯
O型密封圈
半导体工厂
材料构成
挤压式
防泄漏
单元式
聚丙烯
预装配
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Poly-Flo单元式双重防泄漏管路系统采取挤压式设计,它由聚丙烯和高密度聚乙烯材料构成。预装配的专利O型密封圈使得整个系统可以用螺栓固定在原位。这种系统适用于半导体工厂中用于处理硫酸、硝酸和氢氟酸的湿法设备。
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