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通过有限元法的应用，建立了微动工作台静、动特性的有限元分析模型，分析了柔性铰链在几个主要影响因素下的位移、应力分布以及固有频率和振型。应用正交试验设计，全面分析结构主要参数对微动工作台的静、动特性的影响。用逐步回归分析方法对数值计算结果进行回归。获得了微动工作台的性能及其结构尺寸的回归方程，并研制样机对其进行了验证。