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采用超音速等离子喷涂系统制备钙钛矿型La0．6Sr0.4Co0.2Fe0.8O3．5透氧膜，研究了喷距、丙烷流量和线速度主要工艺参数对透氧膜膜层结构的影响．结果表明，在喷距210mm、丙烷流量高于2．5L／min、线速度30m／min的条件下可获得结构致密、内应力水平低且无纵向裂纹的膜层．采用此优化工艺，制备了由多孔316L支撑的片式膜，该膜两侧压差达到0．12MPa时，仍能保证氦气不通过，致密性较高．同时，制备了一种大尺寸、高透氧面积和机械强度的管式膜，对解决当前透氧膜应用所面临的强度低、不易高温密封等