【摘 要】
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在普通玻璃衬底上利用掺杂2%（质量）Al2O3的ZnO陶瓷靶材在中频磁控溅射设备中制备了掺铝氧化锌（ZnO∶Al,AZO）薄膜。利用XRD、XPS、紫外可见分光光度计和Hall测试系统研究了Ar气压
【机 构】
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在普通玻璃衬底上利用掺杂2%（质量）Al2O3的ZnO陶瓷靶材在中频磁控溅射设备中制备了掺铝氧化锌（ZnO∶Al,AZO）薄膜。利用XRD、XPS、紫外可见分光光度计和Hall测试系统研究了Ar气压力（0.73~2.0 Pa）对AZO透明导电薄膜结构、光学和电学性能的影响。随着Ar气压力的增大,电阻率呈先减小后增大的趋势,在0.83 Pa时,AZO薄膜的电阻率为6.91×10-4Ω.cm,在波长400~800 nm间的平均透过率超过86%。研究结果表明,Ar气压力对于AZO薄膜的导电性是一个敏感
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