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文中讨论了影响非制冷微测辐射热计的主要因素,介绍了器件中结构设计和材料的选取,给出了工艺过程和器件的测试结果.
VOX微测辐射热计的研制
【摘 要】
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文中讨论了影响非制冷微测辐射热计的主要因素,介绍了器件中结构设计和材料的选取,给出了工艺过程和器件的测试结果.
【机 构】
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华北光电技术研究所,
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2004年期
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