【摘 要】
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图1表示了二十世纪以来,一般加工、精密加工和超精密加工的发展趋势。可见当今的超精密加工是指被加工零件的尺寸公差为0.01μm数量级,表面粗糙度为Rz0.01μm数量级的加工,
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图1表示了二十世纪以来,一般加工、精密加工和超精密加工的发展趋势。可见当今的超精密加工是指被加工零件的尺寸公差为0.01μm数量级,表面粗糙度为Rz0.01μm数量级的加工,加工中所使用的设备,其分辨率和重复精度应为0.01μm数量级,当然测量仪器应高一个数量级,达到0.001μm。
Figure 1 shows the general trend of machining, precision machining and ultra-precision machining since the 20th century. Visible today’s ultra-precision machining refers to the parts to be machined dimensional tolerance of the order of 0.01μm, the surface roughness Rz0.01μm order of magnitude processing, processing equipment used, the resolution and repeatability should be on the order of 0.01μm, of course Measuring instruments should be an order of magnitude high, reaching 0.001μm.
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