【摘 要】
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在Ⅱ—Ⅳ族半导体、LiNbO_3、LiTaO_3及玻璃等材料的衬底上,用扩散法制作光波导是实现集成光路有希望途径之一。要了解这种扩散光波导的传播特性,必须完整地掌握波导折射率
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在Ⅱ—Ⅳ族半导体、LiNbO_3、LiTaO_3及玻璃等材料的衬底上,用扩散法制作光波导是实现集成光路有希望途径之一。要了解这种扩散光波导的传播特性,必须完整地掌握波导折射率分布的细节。目前,测量扩散光波导折射率分布的方法,有使用干涉显微镜的直接测量法和使用X射线微量分析器的间接测量法。我们用透射式干涉显微镜拍摄了Nb扩散LiTaO_3光波导的折射率分布干涉图形,用测微
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