用脉冲准分子激光在P-Si(100)衬底上沉积高取向KTN薄膜

来源 :科学通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kccsong

【摘要】

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利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制备的薄膜进行了XRD ,SEM分析 High-quality

【作者】

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马卫东王世敏张端明刘素铃王新兵徐启杨李再光田虎永

【机构】

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华中理工大学物理系!武汉430074,华中理工大学物理系!武汉430074,华中理工大学物理系!武汉430074,华中理工大学物理系!武汉430074,华中理工大学激光技术国家重点实验室!武汉4300

【出处】

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科学通报

【发表日期】

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1998年03期

【关键词】

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薄膜质量钙钛矿相 P-Si KTN 焦绿石相脉冲激光沉积准分子激光取向生长靶材化学配比

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利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制备的薄膜进行了XRD ,SEM分析 High-quality KTN ceramic targets were prepared by Sol Gel method. KTN thin films with purer perovskite phase (> 98%) were successfully deposited on P Si (100) substrates by PLD technique. The films were analyzed by XRD and SEM

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