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通过脉冲激光沉积方法在1．3Pa氧氛固，100—500℃衬底温度，Si（111）衬底上成功地制备了ZnO薄膜，我们用X射线衍射（XRD）谱．原子力显微镜（AFM），透射电镜（TEM）对其表面形貌和结构进行了测试和分析。通过测试分析得知，这些ZnO薄膜在生长温度加0℃时能够获得较好的晶体结构，薄膜表面平整，晶粒均匀。