【摘 要】
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采用直流热阴极等离子体化学气相沉积方法,用甲烷、氢气、氮气的混合气体在Mo基底上成功制备了金刚石薄膜。分别采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、拉曼光谱仪（Raman）对
【基金项目】
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自然科学基金重大项目（编号：91022029）
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采用直流热阴极等离子体化学气相沉积方法,用甲烷、氢气、氮气的混合气体在Mo基底上成功制备了金刚石薄膜。分别采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、拉曼光谱仪（Raman）对不同流量氮气氛下生长金刚石薄膜的形貌、取向、质量进行了表征。结果表明：适量氮气的加入,不仅可以促进金刚石薄膜的生长速率,还可以促进金刚石（100）晶面的显现;随着氮气含量的增加,金刚石晶粒也逐渐细化,并且薄膜中非金刚石成分增加,但金刚石表面变得光滑平整。本工作有助于金刚石膜涂层领域的应用。
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