<正>研磨是精密和超精密加工中的一种重要加工方法。随着科学技术的进步,人们对加工精度的要求日益提高,对研磨加工的需求也越来越多。平面研磨是研磨中一种应用较广的加工,如:集成电路芯片、显示板、磁盘等,而且这些产品的应用十分广泛,因此,平面研磨的研究受到了高度重视。 由于传统的慢速散料研磨存在许多缺点,所以开发了采用固着磨料的高速研磨方法,使加工效率、加工成本等都有很大改善。特别是根据工件、磨具间相对运动轨迹密度分布和磨具磨损强度分布,设计磨具磨料密度分布,使磨具磨损均匀,这一技术的开发,把固着磨料高速研磨技术进一步推向实用化。 固着磨料研磨就是将磨料团结在磨盘上,制成专用磨具在高速研磨机上研磨,其原理如图1所示。在研磨时磨具由电机通过变速箱带动旋转,工件置于磨具之上。工件上面的压头通过压盖将工件压向磨具,向工