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氮碳化钛涂层有优良的力学及摩擦学性能,作为硬质耐磨涂层,它已广泛用于切削刀具、钻头和模具等场合,具有广泛的应用前景.研究表明,氮碳化钛涂层的结构、性能和结合强度受化学组分及工艺参数等因素的影响.从影响氮碳化钛涂层结构、性能、残余应力和结合强度的因素出发,综述了90年代以来的研究成果,为合理地利用和进一步改善氮碳化钛涂层的性能提供参考,提出了进一步的工作.