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介绍了国内外光致抗蚀剂的研究进展、化学增幅光致抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的主要合成方法,同时介绍了193nm光致抗蚀剂所使用的光产酸剂及其合成方法,指出合成193nm光致抗蚀剂用光产酸剂的重要性.
化学增幅抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的合成方法
【摘 要】
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介绍了国内外光致抗蚀剂的研究进展、化学增幅光致抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的主要合成方法,同时介绍了193nm光致抗蚀剂所使用的光产酸剂及其合成方法,指出合成193nm光致抗蚀
【机 构】
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中国环境管理干部学院
【出 处】
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中国环境管理干部学院学报
【发表日期】
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2005年2期
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