双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列热变形的光学读出

来源 :2004年实验力学在国防科研领域的应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tdsl

【摘要】

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针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分

【作者】

：

郭哲颖段志辉张青川伍小平董凤良潘亮陈大鹏王玮冰

【机构】

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中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027北京微电子中心,北京,100029

【出处】

：

2004年实验力学在国防科研领域的应用研讨会

【发表日期】

：

2004年10期

【关键词】

：

双材料梁微悬臂梁非制冷红外成像光学读出系统

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针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分析.利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像.通过对实验结果的分析和图像处理消除噪声技术,得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差(NETD)约为5K,并对系统噪声进行了讨论.

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