【摘 要】
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微管道是微纳领域最基本的模型之一,其结构简单、均匀,应用广泛。本文提出一种利用飞秒贝塞尔光进行激光直写,结合磁控溅射金属镀层,加工可磁驱动微管道的新方法。利用空间光
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【基金项目】
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国家自然科学基金(51675503,61475149,51405464,61675190,51605463);“中央高校基本科研业务费专项资金资助”(WK2480000002);中国博士后科学基金(2016M590578,2016M602027);中国科学院仪器工程(YZ201566);“青年千人计划”项目
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微管道是微纳领域最基本的模型之一,其结构简单、均匀,应用广泛。本文提出一种利用飞秒贝塞尔光进行激光直写,结合磁控溅射金属镀层,加工可磁驱动微管道的新方法。利用空间光调制器将飞秒激光调制成飞秒贝塞尔光,通过高数值孔径的物镜聚焦,配合精密三维压电平台的移动,实现了微管道的拉伸加工;通过后续磁控溅射镍处理后,微管道具有超顺磁特性,利用外部磁场可以有效实现驱动。本文详细研究了利用空间光调制器产生的飞秒贝塞尔光的传播和聚焦特性,提出的微管道加工新方法可实现微管道直径、长度、排布的灵活控制,加工效率高;经磁控溅射镍处理的微管道可以利用外部磁场实现在液体环境下沿特定路径的可控驱动,运动灵敏度高,环境适应性强。这种新的微管道加工方法具有灵活、可控、高效的优点,所加工的可驱动微管道在无创手术、靶向药物运输、生物成像与传感、微环境净化等领域具有广阔的应用前景?
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