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合成了液态碳硅烷并对其结构进行了分析，以液态碳硅烷为先驱体在900℃、低压的条件下采用化学气相沉积工艺制备了SiC涂层．实验结果表明，液态碳硅烷是以Si—C键为主链的数种低分子聚合物的混合物，分子组成中不含氧和腐蚀性元素，可通过分馏得到具有合适沸点的先驱体．涂层表面光滑且质硬，沉积产物为较纯的部分结晶的β-SiC．