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集成电路（IC）的快速发展对ULSI布线系统提出了更高的要求。本文通过对ULSI互连布线系统的分析,在介绍了ULSI新型布线系统的同时,尝试预测互连技术的趋势走向,同时展望Low-K介质与Cu互连技术在新型布线系统中的应用前景。
Low-K介质与Cu互连技术在新型布线系统中的应用前景
【摘 要】
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集成电路（IC）的快速发展对ULSI布线系统提出了更高的要求。本文通过对ULSI互连布线系统的分析,在介绍了ULSI新型布线系统的同时,尝试预测互连技术的趋势走向,同时展望Low-K介质
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院
【出 处】
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科技创新导报
【发表日期】
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2013年12期
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