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本文提出了一种新型的LCD黑矩阵激光制造技术，设计了以高功率Q开关半导体泵浦的Nd：YAG固体激光器为主体的激光系统，采用激光背照射喷水辅助的方法制作了黑矩阵样品，有效解决了图形精度和残留物的问题。激光技术与现有的光刻技术相比具有多方面的优越性，很有可能成为现有光刻工艺的取代者。
LCD黑矩阵的激光制造技术
【摘 要】
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本文提出了一种新型的LCD黑矩阵激光制造技术，设计了以高功率Q开关半导体泵浦的Nd：YAG固体激光器为主体的激光系统，采用激光背照射喷水辅助的方法制作了黑矩阵样品，有效解决了图
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2008年8期
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