由选择腐蚀和选择氧化法相结合研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kittyleung1979
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本文报道了由选择氧化和选择腐蚀法相结合研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射半导体激光器,DBR中的AlAS经选择氧化后形成的氧化层作为有源区的横向电流限制层,器件的最低阈值电流为3.8mA,输出功率大于1mW,发散角小于7.8°,高频测量脉冲上升沿达100ps,并制成了2×3列阵器件。 In this paper, GaAs / AlGaAs vertical-cavity surface-emitting semiconductor lasers fabricated by a combination of selective oxidation and selective etching are reported. The oxide layer formed by the selective oxidation of AlAS in the DBR is used as the lateral current confinement layer in the active region. The lowest threshold current 3.8mA, the output power is greater than 1mW, the divergence angle is less than 7.8 °, the rising edge of the high frequency measurement pulse reaches 100ps, and a 2 × 3 array device is made.
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