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本文了一种新颖的利用激光化学汽相沉积球面微透镜的技术。我们建立了一套LCVD的实验装置,用该装置在平面石英玻璃衬底上,成功地沉积生成了平凸型氮化硅球面微透镜。同时,还对学积成的微透镜的参量进行了测试。在实验中还探索了LCVD的沉积工艺。实验结果表明,通过控制源气体的化学配比与浓度,调节激光功率与衬底上的聚焦激光光斑尺寸,选择沉积时间,可以获得不同直径、透明、表面光滑的平凸型氮化硅球面微透镜。