【摘 要】
：
利用表面微加工工艺设计了一种双悬臂梁支撑的欧姆接触式MEMS开关,开关的材料为Au.通过对开关驱动电压的理论分析得出,悬臂梁的刚度越低,下拉电压就会越小;又因为刚度与悬臂
【机 构】
：
电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室,中北大学信息与通信工程学院
论文部分内容阅读
利用表面微加工工艺设计了一种双悬臂梁支撑的欧姆接触式MEMS开关,开关的材料为Au.通过对开关驱动电压的理论分析得出,悬臂梁的刚度越低,下拉电压就会越小;又因为刚度与悬臂梁厚度的三次方呈比例,所以,降低刚度最有效的办法就是减少梁的厚度.通过对开关的性能仿真发现：开关的闭合电压为44V;触点的接触力为22.45 μN;谐振频率为25.5 kHz.开关闭合时,触点接触后并非立即稳定,而是要弹跳数次后才趋于稳定,此现象增加了开关从闭合到稳定的时间.驱动电压为50,60V时开关的弹跳时间分别为174.94,66.
其他文献
为降低计算多状态网络可靠度的复杂性,综合考虑网络中具有多态性的边处于各中间状态的概率及从某中间状态转换到相邻状态对网络性能的影响,提出了一种基于边状态枚举计算多状
目前基于数据链通信的服务器节点大多采用FCFS的服务模型进行实时数据传输，并没有根据实时数据的时效性及优先级提供良好的QoS控制。提出一种基于数据链通信的实时数据传输QoS
为了提高协同语义建模系统的性能,提出了一种新的协同设计方法,亦即使用特征语义表示法和细胞元模型来表示数据和管理模型中的各种数据和信息,然后通过语义匹配的方法来确定子模型间的逻辑和装配关系,通过语义区域划分、"最值空间"等技术来检测和消解协同设计中发生的操作冲突,最后通过创建临时模型来降低全局约束求解的复杂度。这种方法不仅能够完全实现协同语义特征建模的需要,还可以大大提高协同设计的效率。实验表明,该
现代乙二醇是通过管道运输，且管道深埋，传统的检测方法不能很好实现，急需一种泄漏检测报警系统，针对该情况，介绍一种系统通过液位传感器获取乙二醇大量泄漏时液位，同时结合温度和湿
P-集合（packet sets）是把动态特性引入到有限普通集合（Cantor set）内,以改进有限普通集合而提出的。P-集合具有动态特性。P-集合是由内P-集合XF-（internal packet set XF-）与外P-集
高精度的位置与姿态遥测技术已成为航行潜器与水下平台衔接的必要手段,而常规的无线电测距和红外遥测技术都难以克服能量在水中迅速衰减、作用距离受限的缺陷。针对该问题,设
为了实现一定气体流速的离子风,设计了一种新型的阵列式三排3×3垂直放置的针—柱电极结构放电装置。在针—柱之间间距为3mm、排与排之间间距为8mm、镇流电阻12MΩ、放电电阻