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厚膜HIC金属封装腔内水汽的影响及控制
厚膜HIC金属封装腔内水汽的影响及控制
来源 :海峡科技与产业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Destory
【摘 要】
:
在电子器件的生产过程中,水汽对于器件的可靠性影响一直是相关设计、生产非常关注的问题,本文就电子器件封装腔内水汽的主要来源进行了分析,并对加强厚膜HIC金属封装腔的相关
【作 者】
:
谢康
洪明
李丙旺
【机 构】
:
华东光电集成器件研究所,驻9373厂
【出 处】
:
海峡科技与产业
【发表日期】
:
2017年5期
【关键词】
:
厚膜混合集成电路
腔内水汽含量
控制
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在电子器件的生产过程中,水汽对于器件的可靠性影响一直是相关设计、生产非常关注的问题,本文就电子器件封装腔内水汽的主要来源进行了分析,并对加强厚膜HIC金属封装腔的相关工艺提出了相应的控制方法.
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