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本文讨论了集成电路生产中监控质量的主要因素.内容覆盖工艺开发、设计验证、工艺变更的管理、设备维护、在线检测/监控,以及PCM等.重视FAB厂与设计公司技术信息的交流,加强设计和工艺之间的沟通,保持关键工艺参数的稳定,必将显著提高IC产品的质量.
IC生产质量监控要素
【摘 要】
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本文讨论了集成电路生产中监控质量的主要因素.内容覆盖工艺开发、设计验证、工艺变更的管理、设备维护、在线检测/监控,以及PCM等.重视FAB厂与设计公司技术信息的交流,加强
【机 构】
：
无锡华晶矽科微电子有限公司
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2001年4期
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