【摘 要】
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影响LiNbO3化学机械抛光速率的因素很多,如抛光液组成、抛光垫质量、抛光工艺参数等。主要研究了抛光液对去除速率的影响,采用磨料＋碱＋活性剂的配方,首先分析了抛光液各成分对
【机 构】
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河北工业大学微电子技术与材料研究所
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影响LiNbO3化学机械抛光速率的因素很多,如抛光液组成、抛光垫质量、抛光工艺参数等。主要研究了抛光液对去除速率的影响,采用磨料＋碱＋活性剂的配方,首先分析了抛光液各成分对去除速率的影响机理,然后结合各因素的部分相关实验,从机械、化学角度分析其性质特点,对LiNbO3晶片的去除速率进行了研究。结果表明,在保证获得较好抛光表面的前提下,采用的磨料质量分数越高越好,但活性剂体积分数不宜过高,溶液pH值采用无机碱进行调节,即可获得较高的去除速率。
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