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用微波等离子体化学气相沉积设备、在陶瓷/金属钼薄膜衬底上沉积出了氮掺杂非晶碳膜,分别用扫描电子显微镜(SEM),金相显微镜及Raman谱对样品进行了分析测试,并研究了不同掺杂样品的场致电子发射特性.结果表明:在我们的实验范围内,随着氮流量的增加,发射电流密度增大,阈值电压降低.
氮流量对非晶碳膜场致电子发射的影响
【摘 要】
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用微波等离子体化学气相沉积设备、在陶瓷/金属钼薄膜衬底上沉积出了氮掺杂非晶碳膜,分别用扫描电子显微镜(SEM),金相显微镜及Raman谱对样品进行了分析测试,并研究了不同掺杂
【机 构】
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郑州大学物理工程学院,郑州工业大学数学系
【出 处】
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电子与信息学报
【发表日期】
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2001年6期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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