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通过分析钛酸铋铁电薄膜材料MFS结构的C-V特性曲线，发现经过快速退火工艺处理的钛酸铋铁电薄膜的剩余极化强度Pr提高，界面上固定电荷的分布和性质发生了变化。
应用C—V测量研究铁电薄膜材料的电特性
【摘 要】
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通过分析钛酸铋铁电薄膜材料MFS结构的C-V特性曲线，发现经过快速退火工艺处理的钛酸铋铁电薄膜的剩余极化强度Pr提高，界面上固定电荷的分布和性质发生了变化。
【机 构】
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海军航空工程学院电工教研室,海军航空工程学院理化教研室,河北工业职业技术学院基础部
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2001年6期
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