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针对在晶圆噪声系数测试系统存在的问题,提出了基于级联网络噪声系数关系的去嵌入方法。采用该方法有效地去除了测试结构的噪声特性对被测器件噪声系数的影响,提高了测量精度和可重复性。同时,这种方法也适用于其他需要去除测试结构影响的噪声系数测量系统。
在晶圆噪声系数测试中的去嵌入方法
【摘 要】
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针对在晶圆噪声系数测试系统存在的问题,提出了基于级联网络噪声系数关系的去嵌入方法。采用该方法有效地去除了测试结构的噪声特性对被测器件噪声系数的影响,提高了测量精度和可重复性。同时,这种方法也适用于其他需要去除测试结构影响的噪声系数测量系统。
【机 构】
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东南大学射频与光电集成电路研究所,南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2007年04期
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