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介绍了一种新型的补偿式微压基准，该基准装置的压力测量范围为0～2500Pa并采用去离子水为工作介质，装置采用超声技术实现两端容器微小液位差的精确测量，同时利用激光干涉技术实现补偿容器移动距离的精确测量，基准装置主要由U型容器系统、伺服驱动系统、超声定位系统、激光测长系统、恒温槽及温度控制系统以及数据采集处理系统组成。