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<正> 自1965年英国剑桥科学仪器公司生产第一台扫描电镜以来,日本,西德,荷兰、美国和我国都相继制造出了各种类型扫描电镜。经过30年来的不断改进和完善,扫描电镜已经成为多功能表面分析显微镜,更广泛的被应用于冶金、地质、纺织、生物、医学及材料科学等领域。 由于现代科学和高技术的发展,一次又一次的推进了扫描电镜的开发和更新。其发展特点大致如下: