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衬底材料述评:硅、蓝宝石、砷化镓

来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhifeiji1

【摘 要】

：

<正> 众所周知,硅具有一系列的特性,使之成为很有吸引力的半导体材料。主要的理由是资源丰富,二氧化硅在地壳中占28％,这就使硅材料比其他材料便宜,例如一平方时的硅片约为85美

【作 者】

：

王家源 

【出 处】

：

半导体情报

【发表日期】

：

1984年02期

【关键词】

：

切克劳斯基法 区熔法 半导体工业 砷化镓 

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论文部分内容阅读

<正> 众所周知,硅具有一系列的特性,使之成为很有吸引力的半导体材料。主要的理由是资源丰富,二氧化硅在地壳中占28％,这就使硅材料比其他材料便宜,例如一平方时的硅片约为85美分,而一平方时的砷化镓就要4～30美

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