Ka波段MEMS分布线式移相器特性的仿真研究

来源 :宇航计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：newyidiyu

【摘要】

：

在理想共面波导CPW（coplanar-waveguide）上周期性加载微电子机械系统MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）开关,实现了4位Ka波段分布线式DMTL（distributed MEMS transmission l

【作者】

：

甄可龙吕善伟张龙张岩

【机构】

：

北京航空航天大学北京100191,中国空空导弹研究院

【出处】

：

宇航计测技术

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

微电子机械系统移相器 KA波段 MEMS Phase-Shifter Ka-band

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在理想共面波导CPW（coplanar-waveguide）上周期性加载微电子机械系统MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）开关,实现了4位Ka波段分布线式DMTL（distributed MEMS transmission line）移相器的建模和仿真。通过改变驱动电压来调整MEMS桥的高度,从而改变CPW的相速达到实时延迟。并采用HFSS全波分析和ADS电路分析工具,经仿真计算表明在38GHz以下移相器具有良好的移相精度（3°）、较低的插损（S21在-1

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