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研究了双层辉光放电条件下镍基合金Inconel 625的阴极溅射行为。 结果表明： 多组元镍基合金由于各组元溅射率不同， 产生择优溅射现象。 Mo， Nb等低溅射率元素在阴极表面富集， Ni， Cr等高溅射率元素在阴极表面贫化， 使阴极表面发生相变， 形成含Mo， Nb较高的金属间化合物析出相P相和Laves相。 随着阴极溅射电压的增加， 阴极合金元素溅射率增加； 并且随着阴极温度升高， 阴极溅射率也随之增加。