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相移莫尔轮廓测量法是一种光学全场非接触三维测量方法，由于存在机械运动，限制了测量速度、使用寿命及测量的可靠性。采用变光源阴影莫尔测量技术，实现了无机械运动的快速测量。该测量方法可以满足 Ｂ Ｇ Ａ（ 球脚阵列） 封装引脚尺寸的实时在线检测的需要
BGA引脚共面度的变光源阴影莫尔测量技术
【摘 要】
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相移莫尔轮廓测量法是一种光学全场非接触三维测量方法，由于存在机械运动，限制了测量速度、使用寿命及测量的可靠性。采用变光源阴影莫尔测量技术，实现了无机械运动的快速测量。
【机 构】
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西安交通大学激光与红外研究所!西安710049
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1999年3期
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