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报道了原位红外吸收光谱在气相合成金刚石薄膜生长过程中的应用，研究了灯丝温度对原位红外吸收光谱和金刚石薄膜生长的影响，较高的灯丝温度使甲烷分解更充分，从而产生更多诸如Ｃ２Ｈ２等可能对金刚石薄膜生长有利的基团，导致金刚石薄膜质量和生长速率的提高。
灯丝温度对原位吸收光谱和金刚石薄膜生长的影响
【摘 要】
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报道了原位红外吸收光谱在气相合成金刚石薄膜生长过程中的应用，研究了灯丝温度对原位红外吸收光谱和金刚石薄膜生长的影响，较高的灯丝温度使甲烷分解更充分，从而产生更多诸如Ｃ２Ｈ２等
【机 构】
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中国科学技术大学物理系,结构分析开放实验室
【出 处】
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高压物理学报
【发表日期】
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1996年2期
【基金项目】
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国家863高技术发展计划资助
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