【摘 要】
：
本文应用感应耦合高频等离子体化学光谱法,分析了半导体材料和大规模集成电路工艺中所使用的多种高纯试剂。为求得最佳工作条件对高频等离子体的构成和实验参数的选择进行了
论文部分内容阅读
本文应用感应耦合高频等离子体化学光谱法,分析了半导体材料和大规模集成电路工艺中所使用的多种高纯试剂。为求得最佳工作条件对高频等离子体的构成和实验参数的选择进行了试验。
In this paper, inductively coupled high-frequency plasma chemical spectroscopy was used to analyze a variety of high purity reagents used in the fabrication of semiconductor materials and large scale integrated circuits. In order to obtain the best working conditions of high-frequency plasma composition and experimental parameters were tested.
其他文献
一场没有接触的交锋 2 0 0 3年 3月以来 ,经济界一直在争论“中国经济是否过热”。这一争论不仅将几乎所有的大牌经济学家牵涉了进去 ,而且几乎到了只要是开宏观经济会议
铅在Bi_(2-x)Pb_xSr_2Ca_2Cu_3O_y超导系中的最大固溶度在x=0.30～0.45范围内。但是,只有添加适量的铅才能促进高T_c相的形成,和改善其热稳定性。x=0.2的样品具有最佳超导性。
《集韵》“蹨,蹈也,逐也;或作跈、趁”乃是受到同形字的影响误将本来分属两个不同的词的含义混杂起来,表追逐、驱赶义的“趁”和“撚/蹨/捻/撵”是不同时期来源于方言的新词,
游泳运动早已被称为是21世纪最受欢迎的一项体育运动,从某种意义上讲,是因为游泳运动是一种终身体育运动,发达国家多年来的实践证明,游泳运动的确是人类的终身伴侣,它不仅是
密执安湖上下苍茫，烟水连天。t加拿大读书的日子简直是十面埋伏。“绞尽脑汁”地度过一个个苍白干枯的无星无月无睡眠的日子，抛开堆积如山的电脑作业，坐在旅行的飞机上，思绪竟是
１９９８年夏，我国长江、松花江遭特大洪水袭击，许多大堤出现管涌及冒砂险情。其主要原因是没有解决堤岸的截水防渗问题。而截水防渗最有效的方法之一是在大堤内构筑地下硅防渗连续墙。
壮大县域经济,必须立足于县域实际,桂阳幅员广大,人口众多,矿藏丰富,富产烟叶、又是桂阳经济发展的基 础,实践“三不卖”理念就是要立足桂阳实际提高矿产冶炼烟叶的科技含量,
神头泉是山西著名的岩溶大泉，位于朔州市城区东北神头镇一带，出露于洪涛山前源子河两岸及河谷中，泉排泄区分布面积约５ｋｍ２，大小泉点百余处，呈散流排泄，水位标高１０５９～１０６５ｍ，地面标高１０４４～１０５３ｍ，水头高出地表１０～１５ｍ，为一
如果你还把干家务活当作—种惩罚的话,赶紧换个眼光吧——整天跟在你背后的“小尾巴”其实很能干呢!放手让他(她)做点家务事,不要嫌他们做得不够完美,他们动了手动了脑,学会
用电位动态测量法测定了TiC膜的腐蚀性能。这种TiC是在C_2H_2直流放电存在下于400℃和10~(-3)托由钛的电子束蒸发构成的活化反应蒸发按O.22g/min沉积于石英基体上。在绝缘基