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文章采用了化学气相沉积与阳极腐蚀结合的方法,成功制备了多层SiGe/Si异质纳米结构薄膜材料,并利用XRD、TEM和SEM等方法对其结构及形貌特性进行表征分析。实验结果表明多层纳米结构面密度达到~2×10~(11)cm~(-2),尺寸为15.6±4.4nm,层厚精确可控。
多周期SiGe/Si异质纳米结构薄膜的制备研究
【摘 要】
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文章采用了化学气相沉积与阳极腐蚀结合的方法,成功制备了多层SiGe/Si异质纳米结构薄膜材料,并利用XRD、TEM和SEM等方法对其结构及形貌特性进行表征分析。实验结果表明多层纳
【机 构】
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闽江学院物理与电子信息工程学院
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2021年7期
【基金项目】
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福建省科技厅自然科学基金项目(编号:2018J01420)
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